Awọn sẹẹli oorun

Awọn sẹẹli oorun ti pin si ohun alumọni kirisita ati ohun alumọni amorphous, laarin eyiti awọn sẹẹli silikoni okuta le pin siwaju si awọn sẹẹli monocrystalline ati awọn sẹẹli polycrystalline;ṣiṣe ti silikoni monocrystalline yatọ si ti ohun alumọni crystalline.

Pipin:

Awọn sẹẹli ohun alumọni kirisita ti oorun ti o wọpọ ni Ilu China le pin si:

Kirisita nikan 125 * 125

Kirisita nikan 156 * 156

Polykristal 156 * 156

Kirisita nikan 150 * 150

Kirisita nikan 103 * 103

Polykristal 125 * 125

Ilana iṣelọpọ:

Ilana iṣelọpọ ti awọn sẹẹli oorun ti pin si ayewo ohun alumọni ohun alumọni - texturing dada ati pickling - itọka kaakiri - gilaasi ohun alumọni dephosphorization - pilasima etching ati pickling - ibora ti o lodi si ifasilẹ - titẹ iboju - Rapid sintering, bbl Awọn alaye jẹ bi atẹle:

1. Silikoni wafer ayewo

Silikoni wafers ni awọn ti ngbe ti oorun ẹyin, ati awọn didara ti ohun alumọni wafers taara ipinnu awọn iyipada ṣiṣe ti oorun ẹyin.Nitorinaa, o jẹ dandan lati ṣayẹwo awọn wafer silikoni ti nwọle.Ilana yii jẹ lilo ni akọkọ fun wiwọn ori ayelujara ti diẹ ninu awọn aye imọ-ẹrọ ti awọn ohun alumọni ohun alumọni, awọn paramita wọnyi ni pataki pẹlu aidogba dada wafer, igbesi aye gbigbe kekere, resistivity, iru P/N ati microcracks, ati bẹbẹ lọ. , Gbigbe wafer silikoni, apakan isọpọ eto ati awọn modulu wiwa mẹrin.Lara wọn, oluwari ohun alumọni silikoni fotovoltaic ṣe awari aidogba ti dada ti wafer silikoni, ati ni akoko kanna ṣe awari awọn igbelewọn irisi bii iwọn ati diagonal ti wafer silikoni;module wiwa micro-crack ni a lo lati rii awọn dojuijako micro-cracks ti wafer ohun alumọni;ni afikun, nibẹ ni o wa meji erin modulu, ọkan ninu awọn online igbeyewo modulu wa ni o kun lo lati se idanwo awọn olopobobo resistivity ti ohun alumọni wafers ati awọn iru ti ohun alumọni wafers, ati awọn miiran module ti wa ni lo lati ri awọn nkan ti ngbe s'aiye ti ohun alumọni wafers.Ṣaaju wiwa ti igbesi aye ti ngbe kekere ati atako, o jẹ dandan lati ṣe awari akọ-rọsẹ ati awọn dojuijako ti wafer ohun alumọni, ati yọkuro wafer ohun alumọni ti o bajẹ laifọwọyi.Ohun elo ayewo ohun elo wafer le ṣe fifuye laifọwọyi ati gbe awọn wafers silẹ, ati pe o le gbe awọn ọja ti ko pe ni ipo ti o wa titi, nitorinaa imudara deede ayewo ati ṣiṣe.

2. Dada ifojuri

Igbaradi ti ohun alumọni monocrystalline ni lati lo etching anisotropic ti ohun alumọni lati ṣe awọn miliọnu awọn pyramids tetrahedral, iyẹn ni, awọn ẹya pyramid, lori oju gbogbo centimita square ti silikoni.Nitori iṣaroye pupọ ati isọdọtun ti ina isẹlẹ lori dada, gbigba ti ina ti pọ si, ati lọwọlọwọ-yika kukuru ati ṣiṣe iyipada ti batiri naa dara si.Ojutu etching anisotropic ti ohun alumọni nigbagbogbo jẹ ojutu ipilẹ ti o gbona.Awọn alkalis ti o wa ni iṣuu soda hydroxide, potasiomu hydroxide, lithium hydroxide ati ethylenediamine.Pupọ julọ ohun alumọni ogbe ti pese sile nipasẹ lilo ojutu dilute ti ko gbowolori ti iṣuu soda hydroxide pẹlu ifọkansi ti o to 1%, ati iwọn otutu etching jẹ 70-85 °C.Lati le gba aṣọ ogbe kan, awọn ọti-lile bii ethanol ati isopropanol yẹ ki o tun ṣafikun si ojutu bi awọn aṣoju idiju lati mu ki ibajẹ ohun alumọni pọ si.Ṣaaju ki o to mura ogbe naa, wafer ohun alumọni gbọdọ wa ni itẹriba si etching dada alakoko, ati nipa 20-25 μm ti wa ni etched pẹlu ipilẹ tabi ojutu etching ekikan.Lẹhin ti ogbe ti wa ni etched, kemikali gbogbogbo ti wa ni ṣiṣe.Awọn ohun alumọni ohun alumọni ti a ti pese sile ko yẹ ki o wa ni ipamọ ninu omi fun igba pipẹ lati ṣe idiwọ ibajẹ, ati pe o yẹ ki o tan kaakiri ni kete bi o ti ṣee.

3. sorapo tan kaakiri

Awọn sẹẹli oorun nilo ipade PN agbegbe ti o tobi lati mọ iyipada ti agbara ina si agbara ina, ati ileru itọka jẹ ohun elo pataki fun iṣelọpọ ipapọ PN ti awọn sẹẹli oorun.Ileru tan kaakiri tubular jẹ akọkọ ti awọn ẹya mẹrin: awọn apakan oke ati isalẹ ti ọkọ oju omi kuotisi, iyẹwu gaasi eefi, apakan ara ileru ati apakan minisita gaasi.Itankale gbogbogbo nlo orisun omi irawọ owurọ oxychloride bi orisun itankale.Fi irufẹ silikoni iru P sinu apoti quartz ti ileru tan kaakiri tubular, ki o lo nitrogen lati mu irawọ owurọ oxychloride sinu apoti quartz ni iwọn otutu giga ti 850-900 iwọn Celsius.Awọn irawọ owurọ oxychloride fesi pẹlu ohun alumọni wafer lati gba irawọ owurọ.atomu.Lẹhin akoko kan, awọn ọta irawọ owurọ wọ inu Layer dada ti wafer ohun alumọni lati gbogbo ayika, wọn wọ inu ati tan kaakiri sinu wafer ohun alumọni nipasẹ awọn ela laarin awọn ọta ohun alumọni, ṣiṣe ni wiwo laarin N-type semikondokito ati P- iru semikondokito, iyẹn ni, ipade PN.Iparapọ PN ti a ṣe nipasẹ ọna yii ni iṣọkan ti o dara, aiṣe-aṣọkan ti resistance dì ko kere ju 10%, ati pe igbesi aye gbigbe kekere le tobi ju 10ms.Ṣiṣẹda ọna asopọ PN jẹ ipilẹ julọ ati ilana to ṣe pataki ni iṣelọpọ sẹẹli oorun.Nitoripe o jẹ idasile ọna asopọ PN, awọn elekitironi ati awọn ihò ko pada si awọn aaye atilẹba wọn lẹhin ti nṣàn, ti o fi jẹ pe a ti ṣẹda lọwọlọwọ, ati pe lọwọlọwọ ni a fa jade nipasẹ okun waya, eyiti o jẹ lọwọlọwọ taara.

4. Dephosphorylation silicate gilasi

Ilana yii ni a lo ninu ilana iṣelọpọ ti awọn sẹẹli oorun.Nipa etching kemikali, wafer silikoni ti wa ni immersed ni ojutu hydrofluoric acid kan lati gbejade ifaseyin kemikali kan lati ṣe agbejade ekapọ eka hexafluorosilicic acid lati yọ eto itankale kuro.Layer ti gilasi phosphosilicate ti o ṣẹda lori oju ti wafer silikoni lẹhin ipade.Lakoko ilana itankale, POCL3 fesi pẹlu O2 lati ṣe agbekalẹ P2O5 eyiti o wa ni ipamọ lori oju ti wafer silikoni.P2O5 ṣe atunṣe pẹlu Si lati ṣe ipilẹṣẹ SiO2 ati awọn ọta irawọ owurọ, Ni ọna yii, Layer ti SiO2 ti o ni awọn eroja irawọ owurọ ti wa ni ipilẹ lori oju ti wafer silikoni, eyiti a pe ni gilasi phosphosilicate.Ohun elo fun yiyọ gilasi silicate phosphorous ni gbogbogbo ti ara akọkọ, ojò mimọ, eto awakọ servo, apa ẹrọ, eto iṣakoso itanna ati eto pinpin acid laifọwọyi.Awọn orisun agbara akọkọ jẹ hydrofluoric acid, nitrogen, afẹfẹ fisinuirindigbindigbin, omi mimọ, afẹfẹ eefin ooru ati omi egbin.Hydrofluoric acid tu yanrin kuro nitori hydrofluoric acid fesi pẹlu yanrin lati se ina iyipada silikoni tetrafluoride gaasi.Ti hydrofluoric acid ba pọ ju, silikoni tetrafluoride ti a ṣe nipasẹ iṣesi yoo fesi siwaju sii pẹlu hydrofluoric acid lati ṣe eka ti o le yo, hexafluorosilicic acid.

5. Plasma etching

Niwọn igba ti ilana itankale, paapaa ti a ba gba kaakiri-si-ẹhin, phosphorous yoo daju pe yoo tan kaakiri lori gbogbo awọn aaye pẹlu awọn egbegbe ti wafer silikoni.Awọn elekitironi ti a ti ṣe fọtoyiya ti a gba ni ẹgbẹ iwaju ti ipade PN yoo ṣan lẹba agbegbe eti nibiti irawọ owurọ ti tan kaakiri si ẹgbẹ ẹhin ti ipade PN, ti o fa iyipo kukuru kan.Nitorinaa, ohun alumọni doped ni ayika sẹẹli oorun gbọdọ wa ni etched lati yọkuro PN ipade ni eti sẹẹli.Ilana yii ni a maa n ṣe ni lilo awọn ilana etching pilasima.Pilasima etching wa ni ipo titẹ kekere, awọn sẹẹli obi ti gaasi ifaseyin CF4 ni itara nipasẹ agbara igbohunsafẹfẹ redio lati ṣe ipilẹṣẹ ionization ati ṣe pilasima.Plasma jẹ ti awọn elekitironi ti o gba agbara ati awọn ions.Labẹ ipa ti awọn elekitironi, gaasi ti o wa ninu iyẹwu ifura le fa agbara ati dagba nọmba nla ti awọn ẹgbẹ ti nṣiṣe lọwọ ni afikun si iyipada si awọn ions.Awọn ẹgbẹ ifaseyin ti nṣiṣe lọwọ de oju ti SiO2 nitori itankale tabi labẹ iṣe ti aaye ina kan, nibiti wọn ṣe fesi kemikali pẹlu oju ti ohun elo lati jẹ etched, ati ṣe awọn ọja ifaseyin iyipada ti o ya sọtọ lati oju ohun elo lati jẹ etched, ti a si fa jade kuro ninu iho nipasẹ eto igbale.

6. Anti-reflection ti a bo

Awọn afihan ti dada ohun alumọni didan jẹ 35%.Lati le dinku ifarabalẹ oju ati mu iṣẹ ṣiṣe iyipada ti sẹẹli naa pọ si, o jẹ dandan lati ṣafipamọ Layer ti fiimu anti-reflection nitride silikoni.Ni iṣelọpọ ile-iṣẹ, awọn ohun elo PECVD nigbagbogbo lo lati mura awọn fiimu ti o lodi si ifasilẹ.PECVD ni pilasima imudara oru ikesi iwadi.Ilana imọ-ẹrọ rẹ ni lati lo pilasima otutu kekere bi orisun agbara, a gbe ayẹwo naa sori cathode ti itujade didan labẹ titẹ kekere, a lo itujade didan lati gbona ayẹwo si iwọn otutu ti a ti pinnu tẹlẹ, ati lẹhinna iye ti o yẹ. Awọn gaasi ifaseyin SiH4 ati NH3 ni a ṣe.Lẹhin lẹsẹsẹ awọn aati kemikali ati awọn aati pilasima, fiimu ti o lagbara, iyẹn ni, fiimu silikoni nitride, ti wa ni akoso lori oju ti ayẹwo naa.Ni gbogbogbo, sisanra ti fiimu ti a fi silẹ nipasẹ ọna fifin kemikali pilasima ti o ni ilọsiwaju jẹ nipa 70 nm.Awọn fiimu ti sisanra yii ni iṣẹ-ṣiṣe opitika.Lilo ilana ti kikọlu fiimu tinrin, ifarabalẹ ti ina le dinku pupọ, kukuru-Circuit lọwọlọwọ ati iṣẹjade ti batiri ti pọ si pupọ, ati ṣiṣe naa tun ni ilọsiwaju pupọ.

7. iboju titẹ sita

Lẹhin ti sẹẹli ti oorun ti lọ nipasẹ awọn ilana ti ifọrọranṣẹ, itankale ati PECVD, a ti ṣẹda ipade PN kan, eyiti o le ṣe ina lọwọlọwọ labẹ itanna.Lati le okeere lọwọlọwọ ti ipilẹṣẹ, o jẹ dandan lati ṣe awọn amọna rere ati odi lori oju batiri naa.Awọn ọna pupọ lo wa lati ṣe awọn amọna, ati titẹ iboju jẹ ilana iṣelọpọ ti o wọpọ julọ fun ṣiṣe awọn amọna sẹẹli oorun.Titẹ iboju ni lati tẹjade ilana ti a ti pinnu tẹlẹ lori sobusitireti nipasẹ titẹ sii.Ẹrọ naa ni awọn ẹya mẹta: fadaka-aluminiomu lẹẹ titẹ sita lori ẹhin batiri naa, titẹ sita aluminiomu lori ẹhin batiri naa, ati titẹ sita fadaka-lẹẹmọ ni iwaju batiri naa.Ilana iṣẹ rẹ ni: lo apapo apẹrẹ iboju lati wọ inu slurry, lo titẹ kan lori apakan slurry ti iboju pẹlu scraper, ki o lọ si opin iboju miiran ni akoko kanna.Yinki ti wa ni fun pọ lati awọn apapo ti awọn ayaworan ipin pẹlẹpẹlẹ awọn sobusitireti nipasẹ awọn squeegee bi o ti gbe.Nitori ipa viscous ti lẹẹ, aami ti wa ni titọ laarin iwọn kan, ati pe squeegee wa nigbagbogbo ni olubasọrọ laini pẹlu awo titẹ iboju ati sobusitireti lakoko titẹ sita, ati laini olubasọrọ n gbe pẹlu iṣipopada ti squeegee lati pari. ọpọlọ titẹ sita.

8. dekun sintering

Wafer ohun alumọni ti a tẹjade iboju ko le ṣee lo taara.O nilo lati yara sintered ni a sintering ileru lati iná si pa awọn Organic resini Asopọmọra, nlọ fere fadaka elekitiriki ti o ti wa ni pẹkipẹki fojusi si ohun alumọni wafer nitori awọn igbese ti gilasi.Nigbati iwọn otutu ti elekiturodu fadaka ati ohun alumọni kirisita de iwọn otutu eutectic, awọn ọta ohun alumọni kirisita ti wa ni idapo sinu ohun elo elekiturodu fadaka didà ni ipin kan, nitorinaa ti n ṣe olubasọrọ ohmic ti awọn amọna oke ati isalẹ, ati imudarasi Circuit ṣiṣi. foliteji ati nkún ifosiwewe ti awọn sẹẹli.Paramita bọtini ni lati jẹ ki o ni awọn abuda atako lati mu ilọsiwaju iyipada ti sẹẹli naa dara.

Ileru sintering ti pin si awọn ipele mẹta: iṣaju-sintering, sintering, ati itutu agbaiye.Idi ti ipele iṣaju-sintering ni lati decompose ati ki o sun binder polymer ni slurry, ati iwọn otutu ga soke laiyara ni ipele yii;ni ipele sintering, orisirisi ti ara ati kemikali aati ti wa ni pari ni awọn sintered ara lati dagba kan resistive film be, ṣiṣe awọn ti o iwongba ti resistive., awọn iwọn otutu Gigun kan tente ni ipele yi;ni itutu agbaiye ati itutu agbaiye, gilasi ti wa ni tutu, lile ati ki o ṣinṣin, ki awọn resistive film be ni ti o wa titi sobusitireti.

9. Awọn agbeegbe

Ninu ilana iṣelọpọ sẹẹli, awọn ohun elo agbeegbe bii ipese agbara, agbara, ipese omi, idominugere, HVAC, igbale, ati nya si pataki tun nilo.Idaabobo ina ati ohun elo aabo ayika tun ṣe pataki pataki lati rii daju aabo ati idagbasoke alagbero.Fun laini iṣelọpọ sẹẹli kan pẹlu iṣelọpọ lododun ti 50MW, agbara agbara ti ilana ati ohun elo agbara nikan jẹ nipa 1800KW.Iye ilana omi mimọ jẹ nipa awọn toonu 15 fun wakati kan, ati awọn ibeere didara omi pade boṣewa imọ-ẹrọ EW-1 ti omi ite itanna China GB/T11446.1-1997.Iwọn omi itutu ilana jẹ tun nipa awọn toonu 15 fun wakati kan, iwọn patiku ninu didara omi ko yẹ ki o tobi ju 10 microns, ati iwọn otutu ipese omi yẹ ki o jẹ 15-20 °C.Iwọn eefin igbale jẹ nipa 300M3/H.Ni akoko kanna, nipa awọn mita onigun 20 ti awọn tanki ipamọ nitrogen ati awọn mita mita 10 ti awọn tanki ipamọ atẹgun tun nilo.Ni akiyesi awọn ifosiwewe aabo ti awọn gaasi pataki gẹgẹbi silane, o tun jẹ dandan lati ṣeto yara gaasi pataki kan lati rii daju aabo iṣelọpọ patapata.Ni afikun, awọn ile-iṣọ ijona silane ati awọn ibudo itọju omi idoti tun jẹ awọn ohun elo pataki fun iṣelọpọ sẹẹli.